SECS (SEMI Equipment Communications Standard) 프로토콜
- 세계반도체협회(SEMI, Semiconductor Equipment and Materials International)에서 규정한 반도체 장비간 통신 표준 프로토콜이다.
- SECS-I, SECS-II, HSMS를 묶어서 SECS 프로토콜이라 부른다.
SECS-I
- SECS-II 데이터를 RS-232C 통신을 통해 전송하기 위한 규약이다. (SEMI E4 표준문서)
- 1990년대 중반까지 많이 사용되었으나 이더넷이 보편화되면서 HSMS에 밀려 지금은 사용이 많이 줄었다.
- SECS-I 방식으로 전송되는 모든 메시지는 블록의 형태로 전송되며 장비와 호스트간 전송절차는 통신초기화가 이루어진 후에 메시지 교환을 하게 된다.
SECS-I 메시지 전송 프로토콜은 다음과 같은 규칙을 갖는다.
- 실제의 전송은 하나의 start bit와 stop bit를 갖는 10bit 직렬 전송이며, 비동기식 양방향 통신이다.
- 특정 문자와 Handshake 코드에 의해 전송 방향이 구성된 후에 데이터가 전송된다.
- 데이터는 254 byte의 블럭 단위로 전송된다.
- 각 블럭은 10 byte의 헤더를 가지며 블럭 헤더는 각각의 블럭을 구분해준다.
- 하나의 완전한 전송 단위를 메시지라 하며 1 ~ 32,767 블럭으로 구성된다.
- 메서지는 요청과 응답의 한 쌍으로 구성되며 이들을 하나의 트랜잭션이라 부른다.
SECS-II
- 실제 통신을 통해 전달되는 데이터에 관한 규약이다. (SEMI E5 표준문서)
- 장비와 호스트 간에 주고 받는 메시지 이름은 Stream과 Function의 조합으로 표시된다.
Stream : 비슷한 기능을 하거나 서로 관련되는 메시지의 그룹을 하나의 Stream으로 구분한다.
Function : Stream에 속하는 각각의 메시지를 Function으로 구분하며 1차 전송 메시지의 Function 번호는 항상 홀수 번호가 부여되고 이의 응답인 2차 메시지의 Function은 여기에 "1" 이 더해진 짝수가 된다.
ex)
S1F1 "Are You There Request"
S1F2 "Are You There Response"
각 Stream 내용
- Stream 0 and Function 0
- Stream 1 : Equipment Status
- Stream 2 : Equipment Control and Diagnostics
- Stream 3 : Material Status
- Stream 4 : Material Control
- Stream 5 : Material Exception Handling
- Stream 6 : Data Collection
- Stream 7 : Process Program Management
- Stream 8 : Control Program Transfer
- Stream 9 : System Errors
- Stream 10 : Terminal Services
- Stream 11 : Host File Services (Deleted)
- Stream 12 : Wafer Mapping
- Stream 13 : Data Set Transfers
- Stream 14 : Object Services
- Stream 15 : Recipe Management
- Stream 16 : Processing Management 등등
HSMS (High-speed SECS Message Service)
- SECS-II 데이터를 이더넷을 통해 전송하기 위한 규약이다. (SEMI E37 표준문서)
- SECS-I의 제약조건을 보완하는 통식 방식으로 TCP/IP를 사용하며 통신 속도 및 케이블 길이에 제한을 받지 않는다.
GEM (Generic Equipment Model)
- 기능에 따른 반도체 장비 구동에 대한 시나리오를 지정하고 필요에 따라 SECS-II 메시지를 선정해서 표준으로 삼고 있다.
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