MES 용어 정리 및 주요 기능

 

 MES (Manufacturing Excution System) : 생산 관리 시스템

 

 

 

 

 EES (Equipment Engineering System)

 - 설비데이터를 수집, 활용 가능한 모든 데이터를 이용하여 설비효율을 높이고 제품의 품질을 향상시키기 위한 시스템이다.

 - 공정 제어, 설비 생산성, 설비 이상 감시 제어가 주요기능이다.

 

 FDC (Fault Detection and Classfication)

 - 실시간 장비 자원 관리 및 상태 검사이다.

 - 설비의 오작동을 실시간 감시하기 위해 설비의 센서값을 실시간으로 수집 및 계산한다.

 - 이상 발생 판단 및 불량을 분석한다.

 

 APC (Advanced Process Control)

 - 대응 파라미터에 따른 프로세스 최적화이다.

 - 진행될 LOT(웨이퍼의 한 묶음)에 대한 최적의 공정 조건 값을 자동 계산해 공정 조건 실시간 제어한다.

 

 RMS (Recipe Management System)

 - 설비 레시피, 파라미터 변경 등 통합 제어 관리

 

 PMS (Preventive Maintenance Management System)

 - 설비 예방 및 사후 관리 시스템

 

 YMS (Yield Management System)

 - 수율 관리 시스템

 - 수율 분석, 공정 품질 분석, 비정형 이미지 분석, 영상 분석, 비정형 설비 로그 분석 등이 있다.

 

 MCS (Material Control System)

 - 물류 제어

 - 캐리어 및 물류 설비 상태 관리, 물류 최적 경로 및 우선 순위 관리, 반송 설비에 물류 지시 등의 기능이 있다.

 

 

 

 

 출처 : https://zorbanoverman.tistory.com/827